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因应先进半导体制程对洁净度、可靠度愈来愈严苛的要求,Heateflex近期

来源:苏州净化车间(君信达) 浏览量: 发表时间:2017.09.26

   

 因应先进半导体制程对洁净度、可靠度愈来愈严苛的要求,Heateflex近期


推出新型HC管线用投入式加热器,以及输入歧管可360度旋转的液体加热器/混合器。此两款产品体积小并完全采用铁氟龙(PFA)浸湿表面,能使液体于最短时间内达到设定温度,且让温度均匀分布。  Heateflex总裁暨执行长Jorge Ramirez表示,此两款产品体积精巧,为该公司超高纯度加热设备产品线的新成员,可满足半导体产业的复杂需求,包括高可靠性与制程纯净度。  据了解,新型HC管线用加热器包含特殊的内部装置而毋须使用封胶,可增加产品可靠度。加热管上的顶焊管帽可取代O型环,防止可能的微粒污染。此加热器的核心为轻量、全PFA浸水面

   

 因应先进半导体制程对洁净度、可靠度愈来愈严苛的要求,Heateflex近期

的特制加热线圈。此专利加热元件可对制程需求快速反应,轻量的特性让加热器能均匀导热,在短时间内达到设定的温度。新型HC管线用加热器提供各种规格,输出范围为210kW,使用电压范围为120480V。  另一方面,新型HC管线用加热器/混合器,将混合功能与一般管线用加热器的功能与优点结合,精巧体积可加热并混合液体,适用于小空间厂房使用。混合器能以不同的流动速率混合最多三种不同液体,而内部挡板与加热元件的结合能将液体均匀混合并加热后输出。HC加热器/混合器的输入歧管可360度旋转,可满足特殊的配管需求,并以垂直或水平的安装方式节省空间。


   

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